Технологии в электронной промышленности №7'2011

Системы очистки воздуха в микроэлектронном производстве

Вадим Надоленко

В микроэлектронном производстве применяется не один десяток химических соединений и газов. Для различных технологических процессов необходимы разные наборы газов и химических составов. Но неизменными остаются следующие факты: они используются в процессе постоянно, в больших количествах, бoльшая часть этих веществ весьма агрессивна и токсична, и просто выбрасывать их в атмосферу после отработки нельзя ни в коем случае. Вопрос очистки отработанного воздуха выливается в инженерную задачу, которая требует специфических решений и оборудования.

Статьи последних номеров доступны только в печатном варианте. Вы можете приобрести свежие номера журнала «Технологии в электронной промышленности» в свободной продаже или заказать в редакции. Извините за доставленные неудобства.


 
ПОДПИСКА НА НОВОСТИ

Опрос
Оцените, пожалуйста, удобство и практичность (usability) сайта:
Хорошо
Нормально
Плохо

Путеводитель по эрмитажу скачать
Путеводитель странника
hermitage-guide.com