Технологии в электронной промышленности №7'2011

Системы очистки воздуха в микроэлектронном производстве

Вадим Надоленко

В микроэлектронном производстве применяется не один десяток химических соединений и газов. Для различных технологических процессов необходимы разные наборы газов и химических составов. Но неизменными остаются следующие факты: они используются в процессе постоянно, в больших количествах, бoльшая часть этих веществ весьма агрессивна и токсична, и просто выбрасывать их в атмосферу после отработки нельзя ни в коем случае. Вопрос очистки отработанного воздуха выливается в инженерную задачу, которая требует специфических решений и оборудования.

Статьи последних номеров доступны только в печатном варианте. Вы можете приобрести свежие номера журнала «Технологии в электронной промышленности» в свободной продаже или заказать в редакции. Извините за доставленные неудобства.

Другие статьи по этой теме


 
ПОДПИСКА НА НОВОСТИ

Оцените, пожалуйста, удобство и практичность (usability) сайта:
Хорошо
Нормально
Плохо

Виниловый проигрыватель
Купить Ion! Ion Vinil MotIon Usb AUDIO. Виниловые проигрыватели
zeondigital.ru
Двухъярусная кровать
Кровать, купи сейчас. В наличии, доставка
teritorio.ru
Креативный ведущий на свадьбу
Уникальная свадьба без головной боли. Оплата за результат. Закажите раньше
miklvod.com