Технологии в электронной промышленности №7'2011

Системы очистки воздуха в микроэлектронном производстве

Вадим Надоленко

В микроэлектронном производстве применяется не один десяток химических соединений и газов. Для различных технологических процессов необходимы разные наборы газов и химических составов. Но неизменными остаются следующие факты: они используются в процессе постоянно, в больших количествах, бoльшая часть этих веществ весьма агрессивна и токсична, и просто выбрасывать их в атмосферу после отработки нельзя ни в коем случае. Вопрос очистки отработанного воздуха выливается в инженерную задачу, которая требует специфических решений и оборудования.

Статьи последних номеров доступны только в печатном варианте. Вы можете приобрести свежие номера журнала «Технологии в электронной промышленности» в свободной продаже или заказать в редакции. Извините за доставленные неудобства.

Другие статьи по этой теме


 
ПОДПИСКА НА НОВОСТИ

Оцените, пожалуйста, удобство и практичность (usability) сайта:
Хорошо
Нормально
Плохо

Мебель массив
Продажа мебели для дома. Интернет-магазин мебели
spikamebel.ru
Онлайн фильмы hd
онлайн фильмы hd
onlyf.net
Керамогранит под дерево
Керамическая плитка и керамогранит. Оптовая продажа керамогранита
neo-ceramica.ru