Технологии в электронной промышленности №7'2011

Системы очистки воздуха в микроэлектронном производстве

Вадим Надоленко

В микроэлектронном производстве применяется не один десяток химических соединений и газов. Для различных технологических процессов необходимы разные наборы газов и химических составов. Но неизменными остаются следующие факты: они используются в процессе постоянно, в больших количествах, бoльшая часть этих веществ весьма агрессивна и токсична, и просто выбрасывать их в атмосферу после отработки нельзя ни в коем случае. Вопрос очистки отработанного воздуха выливается в инженерную задачу, которая требует специфических решений и оборудования.

Статьи последних номеров доступны только в печатном варианте. Вы можете приобрести свежие номера журнала «Технологии в электронной промышленности» в свободной продаже или заказать в редакции. Извините за доставленные неудобства.

Другие статьи по этой теме


 
ПОДПИСКА НА НОВОСТИ

Оцените, пожалуйста, удобство и практичность (usability) сайта:
Хорошо
Нормально
Плохо

Икра красная купить в спб
Икорницы, подарочные наборы и сувениры с Икрой
ikra.love
Бохо магазин
У нас красивые, эффектные юбки бохо. Заходите
бохостиль.рф
Интернет магазин стройматериалов
В продаже - магазин, цены ниже! Неликвидные остатки
remont-dostavka.ru