Технологии в электронной промышленности №5'2012

Проблемы визуальных исследований тонких структур. Растровая электронная микроскопия.
Часть 3

Ляпин Андрей


Существуют три типа электронных пушек: с температурной эмиссией (TE), полевой эмиссией (FE) и катодом Шоттки (SE). Устройство пушки термоэмиссионного (TE) типа было описано в предыдущих номерах журнала. В этом разделе приводится описание пушки с полевой эмиссией и пушки с катодом Шоттки.

Статьи последних номеров доступны только в печатном варианте. Вы можете приобрести свежие номера журнала «Технологии в электронной промышленности» в свободной продаже или заказать в редакции. Извините за доставленные неудобства.


 
ПОДПИСКА НА НОВОСТИ

Оцените, пожалуйста, удобство и практичность (usability) сайта:
Хорошо
Нормально
Плохо