Технологии в электронной промышленности №6'2012

Модульная конструкция process-unit — новый концепт установок для процессов травления и гальванопластики на кремниевых пластинах

Гофманн Лутц (Lutz Hofmann)

Гуттманн Маркус (Markus Guttmann)

Кайзер Конрадин (Konradin Kaiser)

Моритц Ганс (Moritz Hans)

Мут Штефани (Stephanie Muth)

Цванциг Михаэль (Zwanzig Michael)

Шмидт Ральф (Schmidt Ralf)


Перевод: Новиков Андрей


Модульная конструкция установки silicet process-unit позволяет повысить экономическую выгоду проведения технологических процессов химического травления и гальванического осаждения слоев за счет высокой стабильности процессов и высокого выхода годных изделий, минимальных затрат времени на загрузку и разгрузку подложек, отсутствия их механических повреждений и минимального расхода рабочих жидкостей. В основе установки заложен разработанный и запатентованный Гансом Моритцем метод фиксации и герметизации подложек и субстратов с помощью вакуума.

Статьи последних номеров доступны только в печатном варианте. Вы можете приобрести свежие номера журнала «Технологии в электронной промышленности» в свободной продаже или заказать в редакции. Извините за доставленные неудобства.


 
ПОДПИСКА НА НОВОСТИ

Оцените, пожалуйста, удобство и практичность (usability) сайта:
Хорошо
Нормально
Плохо