Технологии в электронной промышленности №8'2012

Ультратонкие пластины как тенденция развития полупроводниковых технологий

Боднарь Дмитрий


В статье рассмотрены основные тенденции применения ультратонких и экстремально тонких пластин и перехода к ним для изготовления интегральных схем, полупроводниковых приборов и современной 3D-сборки. Проанализированы основные методы, технологии и оборудование утонения пластин с использованием шлифовки, полировки, плазменного и химического травления, релаксации для снятия механических напряжений, а также инструмента, материалов и сервиса для обработки ультратонких пластин.

Статьи последних номеров доступны только в печатном варианте. Вы можете приобрести свежие номера журнала «Технологии в электронной промышленности» в свободной продаже или заказать в редакции. Извините за доставленные неудобства.

Другие статьи по этой теме


 
ПОДПИСКА НА НОВОСТИ

Оцените, пожалуйста, удобство и практичность (usability) сайта:
Хорошо
Нормально
Плохо