Технологии в электронной промышленности №1'2013

Манипулятор с микроконтроллерным управлением для загрузки полупроводниковых пластин в оборудование микроэлектроники

Безлюдов Андрей

Гайков Николай

Киркевич Георгий

Ланин Владимир

Огер Виктор


Для автоматизации работы специального технологического оборудования микроэлектроники служат роботы-манипуляторы, выполняющие функции загрузки и разгрузки полупроводниковых кремниевых подложек, а также смены фотошаблонов в установках переноса изображений с фотошаблонов на полупроводниковые пластины. Для управления роботами-манипуляторами разработаны микроконтроллеры, позволяющие задавать координатные перемещения с глубиной дискретности от 120 до 0,05 мкм и с точностью ±5 мкм.

Статьи последних номеров доступны только в печатном варианте. Вы можете приобрести свежие номера журнала «Технологии в электронной промышленности» в свободной продаже или заказать в редакции. Извините за доставленные неудобства.

Другие статьи по этой теме


 
ПОДПИСКА НА НОВОСТИ

Оцените, пожалуйста, удобство и практичность (usability) сайта:
Хорошо
Нормально
Плохо