Технологии в электронной промышленности №3'2014

Установка диффузионной сварки подложек микроэлектромеханических систем

Клим Ольга

Кременьков Олег

Ланин Владимир

Лапатин Александр

Нестерович Владимир

Школык Святослав


В статье рассмотрены механизмы диффузионной сварки подложек из стекла, кремния и пьезокерамики, конструктивные принципы построения и технические характеристики установки диффузионной сварки ЭМ‑4044, предназначенной для получения неразъемного соединения элементов МЭМС.

Статьи последних номеров доступны только в печатном варианте. Вы можете приобрести свежие номера журнала «Технологии в электронной промышленности» в свободной продаже или заказать в редакции. Извините за доставленные неудобства.

Другие статьи по этой теме


 
ПОДПИСКА НА НОВОСТИ

Оцените, пожалуйста, удобство и практичность (usability) сайта:
Хорошо
Нормально
Плохо

podberiauto
Российский фонд помощи. Блог врача скорой помощи
podberiauto.ru