Итоги Международного МЭМС-форума 2014: «МЭМС сегодня и завтра»

Mems-Russia_01_09_14

В июне 2014 года в Казани состоялся IV ежегодный МЭМС-форум, посвященный разработке, производству и применению МЭМС-устройств, а также перспективам развития российского рынка МЭМС. Мероприятие традиционно было организовано «Русской Ассоциацией МЭМС» при поддержке генерального партнера — компании «Совтест АТЕ». Форум проходил в бизнес-центре «Ривьера» на протяжении двух дней. В нем приняло участие более 50 представителей российской и зарубежной МЭМС-индустрии, среди которых ведущие разработчики и производители высокоточных микроустройств и электротехнического оборудования, крупнейшие предприятия, научно-исследовательские институты и потребители МЭМС.

Международный МЭМС-форум является уникальным мировым событием, которое уже на протяжении нескольких лет проводится на интеллектуальной базе российских предприятий и университетов, лидирующих в области разработки и производства микросхем, и считается крупнейшим мероприятием в сфере МЭМС на территории России и стран СНГ.

Обширная география участников показала, что, несмотря на текущую ситуацию на мировой политической арене, актуальность моделирования, производства и тестирования устройств на основе микроэлектромеханических систем остается неизменной. В этом году в рамках МЭМС-форума Казань посетили представители Германии, Франции, Бельгии и Финляндии, а также многих российских регионов — от центральной части до Сибири.

В нынешнем году особенностью казанского МЭМС-форума стала возможность общения спикера со своей аудиторией — любой желающий мог задать интересующий его вопрос, высказать мнение по докладу или вступить в дискуссию.

День 1. Технологии разработки и производства МЭМС. Тестирование и испытание. Сферы применения.

В течение первого дня Форума были освещены следующие темы:

  • методики калибровки микромеханических датчиков в процессе изготовления гировертикали;
  • мультифизическое моделирование в технологиях разработки инерциальных микродатчиков на поверхностных акустических волнах;
  • снятие рабочих характеристик с МЭМС-устройств на уровне пластины;
  • МЭМС для НИОКР и производства;
  • технологическая эволюция комбинированных датчиков для потребителей;
  • современные методы тестирования и испытаний ЭКБ;
  • технология атомно-слоевого осаждения (АСО) для МЭМС-применений;
  • идентификация неизотропных и нелинейных свойств микромеханического вибрационного гироскопа;
  • инновационные высокоточные микродатчики расхода на основе МЭМС;
  • применение МЭМС в автомобильной промышленности в сотрудничестве с немецкими партнерами;
  • возможность реализации проектов по использованию новых материалов и технологий МЭМС.

На протяжении всего дня специалисты российских и зарубежных компаний рассказывали о своих достижениях в сфере микросистем, делились уникальным опытом их использования в широком спектре применения, обсуждали с коллегами уровень развития МЭМС-технологий в мире и пытались спрогнозировать их будущий прогресс. Прозвучавшие доклады представляли собой органичное сочетание научных исследований с практической направленностью, подкрепленные уникальными знаниями и опытом спикеров.

Закончился первый день конференции насыщенной культурной программой, которую открыла автобусная экскурсия по историческому центру Казани с посещением знаменитого Казанского кремля.

День 2. Сферы применения МЭМС (наземные, аэрокосмические, водные). Моделирование МЭМС, инфраструктура, применение. Прогноз развития направления на период до 2020 года.

Одной из особенностей МЭМС-форума в 2014 году стала возможность одновременно раскрывать темы с точки зрения технологий разработки и производства микросистемной техники, тестирования и испытания изделий, различных сфер применения МЭМС (суша, вода, воздух, космос) и прогноза развития микросистем до 2020 года. Это позволило сформировать темы докладов таким образом, что спикеры в своих выступлениях застрагивали все основные области в МЭМС-технологиях. Так, во время второго, заключительного дня участникам мероприятия были представлены доклады по следующим темам:

  • высокоточные инклинометры на основе МЭМС и высокоточные переключатели на основе МЭМС с низким энергопотреблением для системы мониторинга линии высокого напряжения;
  • программный комплекс OOFELIE::Multiphysics для проектирования высокопрочных микросистем;
  • особенности инфраструктуры для разработки и производства МЭМС;
  • технологии МЭМС для настраиваемых ИК-фильтров и их применение;
  • дорожная карта развития МЭМС в РФ до 2020 года;
  • монтаж кристаллов, 3D-корпусирование и TSV;
  • технологические аспекты изготовления инерциальных датчиков движения с использованием процессов глубокого анизотропного травления кремния;
  • организация сектора испытаний МЭМС и измерений характеристик акселерометра;
  • новые направления и перспективы развития МЭМС.

В продолжение диалога с аудиторией подведение итогов форума состоялось в форме открытого обсуждения: участники охотно делились впечатлениями о мероприятии, произносили речи и слова благодарности, обсуждали тему и место проведения МЭМС-форума 2015.

Еще одним приятным сюрпризом стало введение награды Best Paper Award за лучший доклад. По итогам голосования победителем в этой номинации был признан Александр Кукаев, аспирант СПбГЭТУ (ЛЭТИ) за уникальный двуязычный доклад о мультифизическом моделировании. Также в рамках Форума прошел традиционный розыгрыш «Счастливый участник», в ходе которого случайным образом была выбрана анкета победителя. В этом году обладателем приза стал Константин Прилипко, главный редактор отраслевого журнала «Технологии в электронной промышленности».