Неразрушающие методы контроля качества монтажа полупроводниковых кристаллов в корпуса ИМС

Раскрываются новые возможности как традиционного метода неразрушающего контроля — лазерной микроинтерферометрии, так и уникального — лазерной фототермоакустической микроскопии. Последний метод основан на физико-технических многоступенчатых принципах возбуждения, регистрации и обработки слабых сигналов с последующим извлечением из них полезной информации о внутренних физических особенностях неразъемных контактов в конструкциях изделий электронной техники, микро- и наноэлектроники.