В статье (оригинал статьи опубликован в журнале J. Micro/Nanolith. MEMS MOEMS (Micro/Nanolithographi, MEMS, and MOEMS. 2014. Vol. 13 (1). США).) представлены результаты микросборки первого в своем роде полого волновода на основе многослойной конструкции из фотополимера SU8. В соответствии с эксплуатационными испытаниями волновод обладает сверхнизкими потерями передачи (0,028–0,03 дБ/мм), что со...