Разделение пластин из сапфира на кристаллы лазерным скрайбированием

В публикации приведены режимы разделения пластин из сапфира толщиной 450 и 625 мкм на кристаллы лазерным скрайбированием на установке ЭМ 4452-1 при энергии лазерного излучения до 10 мкДж.