Новая кластерная система плазмохимического осаждения тонких пленок от TFE Srl

Компания TFE Srl (Италия) заявила о выпуске новой кластерной системы плазмохимического осаждения тонких пленок. Кластерная система TER является платформой, которая может быть оборудована шестью процессными модулями, а также одним или двумя устройствами для кассетной загрузки. Система ориентирована на применения в научных исследованиях и пилотных производствах, благодаря своей гибкости, позволяющей проводить различные процессы, такие как RF-PECVD, VHF-PECVD, ECR-PECVD и HW-CVD, в едином цикле. По сравнению с другими кластерными системами, представленными на рынке, система TER может иметь конфигурацию с модулями, комбинирующими различные процессы, — например, плазмохимическое осаждение, магнетронное напыление и ионно-пучковое осаждение.