Первый российский МЭМС-акселерометр, изготовленный по технологии глубокого травления
ООО «Совтест АТЕ» успешно завершило проект по изготовлению двухосевого МЭМС-акселерометра с диапазоном измеряемых ускорений ±30g, выполненного по технологии глубокого реактивного травления. Полученные макетные образцы акселерометра сейчас проходят сертификационные испытания на соответствие международным стандартам, по результатам которых будет рассматриваться возможность создания серийного производства этих изделий в России. Это первый отечественный МЭМС-акселерометр, работа над которым велась на протяжении нескольких лет совместно с ведущими немецкими институтами и «Русской Ассоциацией ...