Исследование скорости травления различных пленок в установке плазменной обработки МРС

В статье приводятся результаты исследования скорости ионно-плазменного травления пленок оксида алюминия и меди, нанесенных на кварцевые резонаторы, проведенного компанией GN Tech и специалистами из МГТУ им. Н. Э. Баумана.