Установка ковалентного соединения полупроводниковых пластин при комнатной температуре от EV Group
Компания EV Group представила EVG580 ComBond — установку ковалентного соединения в условиях высокого вакуума, которая позволяет получить токопроводящие и безоксидные ковалентные соединения полупроводниковых платин при комнатной температуре. Установка EVG580 ComBond построена по модульному принципу и соответствует требованиям крупносерийного производства.
Новая система хорошо подходит для соединения различных оснований для получения устройств с повышенными характеристиками и новых разработок.
Области применения:
- Солнечные элементы с множественными переходами.
- Кремниевая фотоника.
- МЭМС-компоненты с высоким вакуумом.
- Силовые устройства.
Композитные полупроводники и другие специализированные основания для разработок устройств «за пределами технологии КМОП» — транзисторов с высокой подвижностью электронов, микросхем логики с высокими характеристиками и низким энергопотреблением, радиочастотных устройств.
Система EVG580 ComBond выполняет критические важные этапы подготовки поверхностей, что необходимо для получения соединений, свободных от оксидов и загрязнений.