Рентгенофлуоресцентные анализаторы толщины покрытий и химического состава материалов Oxford Instruments.
Опыт применения и новые возможности

В статье рассказывается об опыте внедрения и эксплуатации РФА-толщиномеров на российских предприятиях, а также предлагается простой и наглядный навигатор по выбору толщино-мера для решения технологических задач.

РФА-толщиномеры Oxford Instruments успешно внедрены и эксплуатируются на российских предприятиях машиностроительного, приборостроительного, радиоэлектронного комплекса, а также в научно-исследовательских институтах. Среди пользователей — НИИИС им. Седакова (Нижний Нов-город), где успешно используется РФА-толщиномер X‑STRATA 980. Применение толщиномера позволяет решить следующие задачи:

• ускорить анализ однослойных толстых покрытий (для капельного метода анализ занимает ~1 мин на 1 мкм толщины);
• провести измерение в нескольких точках покрываемой детали для оценки неравномерности покрытия и рассеивающей способности электролита;
• выполнить измерение детали с нанесенным многослойным покрытием (без потери внешнего вида) — при возникновении вопроса о качестве нанесенного покрытия;
• встроенный цифровой микроскоп позволяет запротоколировать внешний вид гальванического покрытия и качество поверхности деталей;
• применение X‑STRATA 980 вместо капельного метода снижает вредность проводимых работ.

Помимо анализа покрытий, X‑STRATA 980 помогает проводить экспресс-анализ химического состава металлов и сплавов:

• химический анализ припоев ПОСК и ПОИн занимает от 1 до 2 недель. При использовании X‑STRATA 980 время анализа сокращается до нескольких минут и отпадает необходимость в работе с кипящими кислотами;
• при использовании X‑STRATA 980 для анализа припоя ПОС ликвидируется выброс паров тяжелых металлов.

В 2015 году компания Oxford Instruments расширила линейку толщиномеров, предлагая широкий выбор измерительных камер и комплектаций приборов. Для всех моделей остается неименным:

• соотношение цена/качество;
• широкий спектр решаемых задач;
• открытое программное обеспечение;
• не требует стандартов для создания программ пользователем;
• простота использования;
• возможность работы в режиме «24×7»;
• произведено в Германии.

Неразрушающий анализ за несколько секунд позволяет выполнить:

• анализ толщины и химического состава гальванических и химических покрытий на любой подложке;
• измерение толщины покрытия на выводах электронных компонентов;
• измерение толщины проводников и контактных площадок на печатных платах;
• утилизацию электронных компонентов (RoHS);
• анализ ювелирных изделий;
• анализ элементов солнечных батарей;
• входной контроль химического состава различных сплавов;
• анализ электролитов.

Все модели можно объединить в несколько групп.

Группы анализаторов

Eco Series/MAXXI 5

Анализаторы серии Eco разработаны для ежедневных рутинных анализов и предлагают лучшее соотношение цена/качество в данном классе оборудования.

Анализаторы MAXXI 5 (рис. 1) являются универсальными приборами и позволяют проводить высокоточные измерения в различных областях.

Рис. 1. Анализаторы MAXXI 5

Дополнительно для MAXXI 5:

• Для точных результатов измерения независимо от размера образца: набор коллиматоров с настраиваемыми параметрами трубки.
• Для автоматизации измерений: программно управляемый измерительный стол с перемещением по осям X/Y и с моторизированным перемещением измерительной головки.

Анализатор X‑STRATA 920

Анализатор X‑STRATA 920 — идеальное решение для анализа контактов, печатных плат в автоматическом режиме благодаря щелевой конструкции измерительной камеры и столику для образцов с программируемым перемещением.

В таблице представлены максимальные размеры образцов, которые могут быть размещены в измерительных камерах.

Анализатор MAXXI 6

Анализатор MAXXI 6 (рис. 2) — уникальные анализаторы с большой измерительной камерой щелевой конструкции. Позволяет решать задачи измерения от толщины однослойных покрытий до тончайших структур и химического состава c низким пределом обнаружения.

Рис. 2. Анализаторы MAXXI 6

MAXXI 6 — инновационный настольный рентгенофлуоресцентный анализатор для измерения толщин от нанометровых величин на очень маленьких образцах (например, электронные компоненты). MAXXI 6 имеет низкие пределы обнаружения и позволяет проводить анализ на соответствие директивам RoHS, WEEE, ELV.

Особенности:

• дрейфовый кремниевый детектор (SDD) с высоким разрешением для простой идентификации элементов;
• цифровой пульсирующий процессор HiSpex для достижения максимального рентгеновского потока за минимальное время;
• 8 коллиматоров различного размера позволяют проводить анализ в заданной точке;
• воздушная измерительная камера для анализа элементов от Al13 до U92;
• щелевая конструкция измерительной камеры с внутренним объемом (Ш×Д×В): 500×450×170 мм.

РФА CONTI System

Абсолютно новым методом анализа толщины покрытий является РФА CONTI System (рис. 3). Уникальная система дает возможность проводить анализ толщины и химического состава покрытий на потоке. Диапазон измеряемых элементов от Ti22 до U92. Нет ограничения на размеры образцов. CONTI System разрабатывается индивидуально в соответствии с задачами пользователя. Управление осуществляется от внешнего компьютера.

Рис. 3. РФА CONTI System

Все представленные модели имеют заключение по НРБ, сертификат соответствия и свидетельство о внесении в Реестр средств измерения РФ.

ООО «СИНЕРКОН» — эксклюзивный дистрибьютор Oxford Instruments Analitycal.