Установка для нанесения и снятия защитного полимера модели POLYCOAT-200 производства ГК «Остек»

ГК «Остек» представляет установку собственного производства для нанесения и снятия защитного полимера модели POLYCOAT-200.

Для устранения дефектов в процессе дисковой резки пластин и подложек разработана технология защиты изделия перед резкой — Polymer Protection Before Dicing (PPBD), реализованная на базе установки модели POLYCOAT-200. Нанесенный защитный полимер исключает попадание микрочастиц и воды на чувствительные к повреждениям и коррозии структуры полупроводниковой пластины или подложки. После разделения пластины на отдельные компоненты защитную пленку полимера удаляют с помощью специального растворителя.

Защитный полимер серии CWP специально создан для использования вместе с установкой POLYCOAT-200. Состав данного материала обеспечивает превосходную адгезию к поверхности подложки, обладает антистатическими свойствами, а также содержит компоненты, чувствительные к УФ-излучению, что позволяет визуально контролировать качество нанесения и отмывки вещества.
Пример такого решения на базе установки POLYCOAT-200 доступен в демонстрационном зале ГК «Остек» с 1 мая 2017 года.