Первый российский МЭМС-акселерометр, изготовленный по технологии глубокого травления

ООО «Совтест АТЕ» успешно завершило проект по изготовлению двухосевого МЭМС-акселерометра с диапазоном измеряемых ускорений ±30g, выполненного по технологии глубокого реактивного травления. Полученные макетные образцы акселерометра сейчас проходят сертификационные испытания на соответствие международным стандартам, по результатам которых будет рассматриваться возможность создания серийного производства этих изделий в России. Это первый отечественный МЭМС-акселерометр, работа над которым велась на протяжении нескольких лет совместно с ведущими немецкими институтами и «Русской Ассоциацией МЭМС».

Глубокое анизотропное травление — единственный на сегодня способ продвинуться вперед в создании высокочувствительных микросистем сложной формы. Это стандартный метод изготовления МЭМС, используемый многими крупными фирмами (Bosch, STM, Sony, Freescale и др.). Такая технология производства позволяет получать структуры с высоким аспектным разрешением (соотношение ширины структуры к глубине), что обеспечивает высокую точность и линейность измерений, а также ряд других преимуществ.

По мнению зарубежных партнеров, МЭМС-акселерометр ±30g производства «Совтест АТЕ» уникален по сочетанию своих характеристик и не имеет аналогов на мировом рынке. Изделие обладает следующими достоинствами:

• минимальные габаритно-весовые характеристики,
• высокая точность и надежность,
• высокая стойкость к повреждающим факторам (удары, вибрация, резкие ускорения и другие помехи),
• широкий диапазон измеряемых ускорений,
• крайне малое электропотребление,
• оптимальная стоимость.

В январе 2012 года планируется провести ряд испытаний МЭМС-акселерометра на современной центрифуге, которая будет установлена в испытательной лаборатории «Совтест АТЕ».

В России разработка и производство МЭМС является одним из наиболее перспективных направлений инновационного развития экономики страны. Это связано и с широкой сферой применения таких изделий. Например, МЭМС-акселерометр ±30g может быть использован в промышленной электронике, авиакосмической и транспортной сфере, автомобиле- и судостроении, а также в медицине и нефтегазовой отрасли.

ООО «Совтест АТЕ» рассматривает возможность по разработке и производству МЭМС-акселерометра ±60g.